红星机械厂,新建成的微电子研究所无尘室。
空气中弥漫着一种令人窒息的压抑感。虽然恒温系统维持着22度的舒适室温,但所有人的后背都已被冷汗浸透。
巨大的电子显微镜屏幕上,那张本该完美无瑕的晶圆切片图,此刻却像是一张布满疤痕的脸。
“第108次流片,良率……0.3%。”
负责检测的年轻技术员声音低得像蚊子叫,但在死寂的实验室里,却如同惊雷。
李国栋手里的保温杯“哐当”一声掉在地上,滚烫的茶水溅了一地,但他毫无知觉。这位搞了一辈子机械的老专家,此刻像是被抽去了脊梁骨,瘫坐在椅子上。
“又是掩膜版缺陷。”林知夏站在操作台前,目光死死盯着屏幕上那些微小的断点,“极紫外光的能量太高,光子撞击导致掩膜版上的吸收层发生了微观形变。这就像是用一把锤子去绣花,针还没动,布先破了。”
这就是7nm制程的残酷之处。
在纳米级别的微观世界里,任何一点热应力、任何一点镀膜的不均匀,都会被无限放大。
“西方在这一块卡了我们四十年。”李国栋苦笑着,声音苍老了许多,“林厂长,我们的镀膜工艺虽然用了苏联的老底子,但精度还是差了点。这种超低热膨胀玻璃基底上的钌层,我们镀不上去,或者说,镀不匀。”
“那就换一种镀法。”林知夏的声音冷硬如铁。
“怎么换?磁控溅射已经到极限了,离子束沉积也试过了……”
“用‘机械心脏’。”
林知夏吐出这几个字,整个实验室瞬间安静下来。
赵大山瞪大了眼睛:“厂长,你是说……那台从长白山挖出来的T-800?可那是机械加工设备,用来磨镜片的,跟镀膜有什么关系?”
“在微观层面,加工和沉积的本质是一样的,都是原子级别的堆砌与移除。”林知夏转身向车间外走去,“大山,把T-800的真空腔体拆下来,我要改装成原子层沉积室。李老,您去把彼得洛夫留下的那本关于‘晶体生长动力学’的手稿找出来,我有用。”
接下来的48小时,红星厂再次进入了疯魔状态。
林知夏没有合眼。她利用系统奖励的“工业点数”,疯狂兑换着关于原子层沉积(ALD)的改良算法。
她发现,传统的镀膜工艺是“撒沙子”,沙子落下去,总会有厚有薄。而T-800那恐怖的温控精度和机械臂稳定性,可以让她实现“种树”——让原子一个接一个地,整齐地长在基底上。
但这需要一种特殊的催化剂。
“彼得洛夫的手稿里提到过一种‘低温等离子体辅助生长法’……”林知夏一边在图纸上飞快地计算,一边喃喃自语,“把反应腔温度控制在150度,利用高频电场激发前驱体……”
“大山!改装好了吗?”
“好了!但是厂长,这玩意的控制程序太复杂,老式继电器根本反应不过来啊!”赵大山满头大汗地从改装现场跑出来。
“用我的算法。”林知夏将一张穿孔纸带塞进读卡器——这是她连夜手写的底层控制代码,“启动!”
T-800发出了低沉的轰鸣。
这一次,它没有挥舞铣刀,而是通过改装后的喷头,向真空腔内喷吐着肉眼看不见的化学气体。
林知夏站在观察窗前,屏住呼吸。
她在赌。
赌这台来自1960年的苏联神器,能承载1985年最顶尖的工艺思想。
三个小时后。
机械臂缓缓收回。
一片镀好了钌层的掩膜版基底被取了出来。
林知夏亲自拿着它,走向了检测台。
“表面粗糙度……”技术员看着数据,眼珠子都要瞪出来了,“0.05纳米?!这……这比镜面还要平?这是原子级的平整!”
“快!上光刻机试流!”李国栋吼道。
新一轮的流片开始。
这一次,EUV光源那幽蓝色的光芒穿过改良后的掩膜版,精准地投射在硅片上。
没有断点,没有形变,没有热损伤。
一小时后,检测结果出炉。
“良率……98.5%!”
欢呼声差点掀翻了屋顶。
林知夏看着那个数字,长长地出了一口气。她感觉自己的腿有点软,那是精神力透支的征兆。
**【叮!】**
**【危机解除。】**
**【检测到宿主巧妙利用旧时代设备解决新时代难题,触发特殊成就: “旧瓶装新酒”。】**
**【奖励:解锁“EUV光刻机双工件台同步控制技术”。】**
**【当前进度:首颗7nm芯片流片成功,即将进入封装测试阶段。】**
林知夏走出实验室,外面的天已经亮了。
初升的太阳照在厂区那根高耸的烟囱上,给冰冷的钢铁镀上了一层金边。
赵大山跟了出来,递给她一个冷掉的馒头:“厂长,咱这是不是就算成了?”
“只是第一步。”林知夏咬了一口馒头,目光望向远方,“芯片造出来,还得能用。接下来,我们要面对的,是更复杂的生态系统。”
但她知道,最难的关口已经过了。
来自1960年的机械心脏,在1985年的春天,跳动出了最强音。
而这,仅仅是一个开始。
西方世界的封锁线,在这一刻,彻底成为了历史的笑话。1
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